光柵技術(shù)中心“一維光柵線位移傳感器”榮獲首屆“金燧獎”銀獎
【化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng) 技術(shù)前沿】近日，中國光學(xué)工程學(xué)會發(fā)布2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單，長春光機(jī)所光柵技術(shù)中心開發(fā)的“一維光柵線位移傳感器”榮獲銀獎。
“金燧獎”中國光電儀器品牌榜旨在面向國家重大戰(zhàn)略需求，以促動關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，突破“卡脖子”技術(shù)發(fā)揮關(guān)鍵作用為出發(fā)點(diǎn)，重點(diǎn)評選出我國自主研發(fā)、制造、生產(chǎn)的高端光電儀器，為助力我國自主研發(fā)的科學(xué)儀器搶占科技戰(zhàn)略制高點(diǎn)、樹立民族品牌自信、展現(xiàn)自主核心競爭力、開拓國內(nèi)外應(yīng)用市場創(chuàng)造新的機(jī)遇。
光柵位移測量以光柵柵距為基準(zhǔn)，不易受環(huán)境擾動影響，具有更高的抗干擾能力和測量重復(fù)性精度，成為高端光刻機(jī)、高檔數(shù)控機(jī)床等高精度測量需求領(lǐng)域活力發(fā)展的方向。團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)了小型化、高刻線密度一維光柵線位移傳感器，首創(chuàng)基于錐面衍射和光柵偏振調(diào)制的光柵位移測量方法，解決了衍射干涉光柵測量中反、衍射光信號混疊引入相位誤差和波片參數(shù)引入多階非線性誤差的問題。一維光柵線位移傳感器攻克錐面衍射共點(diǎn)測量、各向異性衍射偏振調(diào)制、雙向多普勒干涉測量等多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)，打破國外相關(guān)技術(shù)封鎖，實(shí)現(xiàn)555nm柵距下350mm位移測量。
圖1光柵線位移傳感器測量原理圖
“中國制造2025”發(fā)展戰(zhàn)略對高端裝備制造業(yè)的質(zhì)量提出了更高要求，超精密測量對提升高端裝備制造質(zhì)量具有基礎(chǔ)支撐作用，并在制造全過程中的質(zhì)量控制發(fā)揮決定性作用。“一維光柵線位移傳感器”打破該領(lǐng)域的對外依賴，有效提升了我國關(guān)鍵核心部件研發(fā)水平，推動了高精度位移測量核心部件國產(chǎn)替代，全面支撐我國高端裝備制造能力跨越式發(fā)展！
2022年首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜獲獎名單公示
版權(quán)與免責(zé)聲明：1.凡本網(wǎng)注明“來源：化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-興旺寶合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。 2.本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。 3.如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
相關(guān)新聞
昵稱 驗(yàn)證碼 請輸入正確驗(yàn)證碼
所有評論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場無關(guān)