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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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微型低溫探針冷臺(tái)

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半導(dǎo)體制冷臺(tái)

微型高低溫真空探針臺(tái)

吉時(shí)利源表

鼓泡罐

微型真空高低溫探針臺(tái)

真空加熱腔

探針臺(tái)

微型真空探針冷臺(tái)

真空探針臺(tái)

微型真空探針熱臺(tái)

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微型低溫探針冷臺(tái)，可定低溫制探針臺(tái)系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)真空腔主體、鐵制抗震支架、進(jìn)口分子泵機(jī)組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置

詳細(xì)介紹

微型低溫探針冷臺(tái),可定低溫制探針臺(tái)系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)真空腔主體、鐵制抗震支架、進(jìn)口分子泵機(jī)組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置

微型高低溫真空探針臺(tái)3軸2.png

一部分：系統(tǒng)及指標(biāo)描述

1、總體規(guī)格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10^-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10^-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍x軸12mm ±6mm，y軸12mm ±6mm，z軸12mm ±6mm，調(diào)節(jié)精度≤5μm。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

（4）變溫樣品臺(tái)：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.01K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖

（6）系統(tǒng)直流漏電低于10pA

3、含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀

4、設(shè)備照片（因配置不同，照片僅供參考）

微型低溫探針冷臺(tái)

技術(shù)參數(shù)；

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進(jìn)氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	304不銹鋼
樣品臺(tái)尺寸	26X26mm
樣品臺(tái)-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器	A 級(jí)PT100鉑電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差	±0.2℃
樣品臺(tái)變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可定做6探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數(shù)碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數(shù)	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機(jī)分辨率	1080P 60幀
相機(jī)信號(hào)輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調(diào)光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機(jī)

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