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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州利正科學儀器有限公司


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高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地杭州市

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更新時間:2025-01-02 14:26:18瀏覽次數(shù):29次

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產(chǎn)品簡介

一、產(chǎn)品概述1、適用:大專院校、科研院所及企業(yè)進行薄膜新材料的科研與小批量制備。2、產(chǎn)品特點/用途:?設備一體化設計,占地面積小,性價比高,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;?適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等;?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。

詳細介紹


名稱:高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機
型號:TEMD600
品牌:泰科諾
產(chǎn)地:北京

一、產(chǎn)品概述

1、適用:大專院校、科研院所及企業(yè)進行薄膜新材料的科研與小批量制備。

2、產(chǎn)品特點/用途

?設備一體化設計,占地面積小,性價比高,性能穩(wěn)定,使用維護成本低;

?適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等;

?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。

型號 TEMD600
真空腔室結構 立式圓柱形側開門結構,后置抽氣系統(tǒng)
真空腔室尺寸 Φ600×H750mm
加熱溫度 室溫~300℃
旋轉基片臺 平板型Φ350mm,或球罩型基片臺可選
膜厚不均勻性 ≤±5.0%
考夫曼離子源 可選
蒸發(fā)源 電子槍8KW 6穴坩堝 國產(chǎn)進口可選,配2-3組電阻蒸發(fā)
控制方式 PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統(tǒng)
占地面積 長×寬:L2500×W1600mm
總功率 ≥17KW


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