產(chǎn)品參數(shù)：

型號：M-HP 200 Hotplate熱板  
處理尺寸：直徑大8英寸晶圓片或大6 英寸x6英寸基板
溫度范圍：20°C至250°C可調(diào)
功率：600瓦
加熱時間：從1到9999秒
熱板表面安全蓋材質(zhì)：不銹鋼
不帶蓋的熱板尺寸：約350mm x 350mm x 200mm
控制器的尺寸：約135mm x 145mm x 95mm
臺式柜的尺寸：約 460mm x 360mm x 325mm
重量：約200磅

主營產(chǎn)品：

Laurell勻膠機(jī)     

Harrick等離子清洗機(jī)

Thetametrisis膜厚儀  

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機(jī)       

Novascan紫外臭氧清洗機(jī)

Nilt納米壓印機(jī)

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)     

Wabash/Carver自動壓片機(jī)