全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100
伯東公司日本進(jìn)口全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100, 蝕刻速率 >10(nm/min), 均勻性 ≤±5%, 全自動(dòng)化系統(tǒng)減少人工操作, 保證產(chǎn)品高穩(wěn)定性和高質(zhì)量. 有效減少因人工操作帶來(lái)的損失！

全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 特性
全自動(dòng)化系統(tǒng)
清潔: 鈦用于經(jīng)常暴露于離子束的零件, 以產(chǎn)生低粒子. 晶圓輸送盒采用高效空氣過(guò)濾器.
占地面積小, 方便維護(hù)
10.4英寸觸摸屏
配置美國(guó) KRI 考夫曼離子源和德國(guó) Pfeiffer 分子泵.


全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 技術(shù)規(guī)格.

Hakuto 日本原裝設(shè)計(jì)制造離子刻蝕機(jī) IBE, 提供微米級(jí)刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對(duì)磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供蝕刻. 可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計(jì)交付約 500套離子蝕刻機(jī). 蝕刻機(jī)可配置德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵和美國(guó) KRI 考夫曼離子源!
伯東公司超過(guò) 50年的刻蝕 IBE 市場(chǎng)經(jīng)驗(yàn), 擁有龐大的安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過(guò)市場(chǎng)驗(yàn)證的刻蝕技術(shù)!