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半自動硅片腐蝕清洗機

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

化工機械設(shè)備網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2020-07-29 15:32:10瀏覽次數(shù)：329次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：邱 （銷售）

產(chǎn)品簡介

設(shè)備用途：用來將4、5、6寸硅片化學(xué)腐蝕和清洗
控制模式：手動控制模式、自動控制模式
項目數(shù)據(jù)
適用對象硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch
藍(lán)寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

詳細(xì)介紹

半自動硅片腐蝕清洗機

設(shè)備用途：用來將4、5、6寸硅片化學(xué)腐蝕和清洗

控制模式：手動控制模式、自動控制模式

項目

數(shù)據(jù)

適用對象

硅片      2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

藍(lán)寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch

其它襯底晶片

基本規(guī)格

機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）

機臺主體強度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材

機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm）

選配模塊

  • 有機溶劑恒溫系統(tǒng)
  • 有機溶劑循環(huán)過濾系統(tǒng)
  • 超（兆）聲系統(tǒng)
  • 水阻率檢測
  • CDS補液
  • 廢液回收
  • 更全面的全自動烘干系統(tǒng)
  • 消防系統(tǒng)
  • 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理
  • 純水節(jié)省功能

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)強勁合理設(shè)計，為了排風(fēng)效果達到要求，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板，為了方便操作人員及時根據(jù)情況調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風(fēng)背板上的可拆卸式排風(fēng)口再配合機臺視窗上的可調(diào)節(jié)進氣模塊，從而達到使用效果

機臺特點

  • 清洗工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性
  • QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定
  • 集成自動干燥系統(tǒng)
  • 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等關(guān)鍵核心部件均采用進口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品
  • 保修便利，非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全庫存品
  • 多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲
  • 作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全
  • 客制化設(shè)計能力佳，搞設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）

槽體數(shù)量

根據(jù)制程要求選擇定制

設(shè)備制造

蘇州尚純半導(dǎo)體設(shè)備有限公司


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