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行業(yè)產(chǎn)品

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蘇州大華爐業(yè)有限公司


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高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)

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參   考   價(jià): ￥ 110000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DH-30-700

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2021-12-06 16:12:59瀏覽次數(shù)：188次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：7條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：王朵 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料：

主要用途
■適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝；
■適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(zhǎng)；
■可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝；

詳細(xì)介紹

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)特點(diǎn)：

 

■ 采用多層隔板設(shè)計(jì)，批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝，每爐可放數(shù)千個(gè)鏡片；

■ 智能化PLC程序升溫程序，真空程序，CVD進(jìn)氣程序，操作簡(jiǎn)單方便；

■ 優(yōu)質(zhì)干式真空泵，杜絕油液污染，可選擇國(guó)產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵；

■ 智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng)，適應(yīng)于氮?dú)?、乙?甲烷、氬氣、空氣的通入和混合；

■ *的密封系統(tǒng)，泄漏率低，長(zhǎng)期使用穩(wěn)定性高；

 

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料：

 

主要用途

■ 適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝；

■ 適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(zhǎng)；

■ 可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝；

 

 

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： DH-30-700（大華）

使用溫度：650℃；

使用氣氛： 氮?dú)?、氬氣、空氣、二氧化?/span>、乙炔、甲烷、合氣體；

長(zhǎng)期使用：400-700℃；

波 動(dòng) 度： ±1℃；

顯示精度： 0.1℃；

均 勻 度： 容積30L；

進(jìn)氣流量：三路MFC質(zhì)量流量計(jì)控制，一路浮子流量計(jì)控制；

升降系統(tǒng)： 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺(tái)；

控制系統(tǒng)：智能程序化PLC控制系統(tǒng)；

真空泵真空度： 極限真空1Pa；

腔內(nèi)真空度：≤10Pa；

降溫要求：外置冷卻風(fēng)機(jī)，降溫階段強(qiáng)制降溫；

整機(jī)功率： 18KW；

電 源 ： 380V, 50Hz；

水冷裝置：優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制

保護(hù)裝置： 過(guò)載、過(guò)流、過(guò)壓保護(hù)，接地，熱電偶異常報(bào)警，第二回路超溫報(bào)警保護(hù)裝置；冷卻水溫保護(hù)，壓力過(guò)載保護(hù)；

技術(shù)服務(wù)： 提供設(shè)備使用過(guò)程中的技術(shù)咨詢和支持，接到客戶故障通知3個(gè)工作時(shí)內(nèi)立即響應(yīng)。

 



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