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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)關(guān)鍵詞：單層膜、多層膜、磁性膜、光學(xué)膜、金屬膜、絕緣膜、半導(dǎo)體膜連續(xù)沉積、進(jìn)口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶型號(hào)：MP900S產(chǎn)地：歐洲應(yīng)用：單層膜、多層膜、磁性膜配置多個(gè)可更換金屬靶：Ni
關(guān)鍵詞：單層膜、多層膜、磁性膜、光學(xué)膜、金屬膜、絕緣膜、半導(dǎo)體膜
連續(xù)沉積、進(jìn)口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶
型號(hào)：MP 900S 產(chǎn)地：歐洲 應(yīng)用：單層膜、多層膜、磁性膜
配置多個(gè)可更換金屬靶：Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN
襯底雙行星運(yùn)動(dòng)，可加載4英寸襯底
LOAD LOCK及主腔體均配備分子泵和干泵
可沉積多層膜，可原位應(yīng)力檢測(cè)
應(yīng)用于X-射線等領(lǐng)域.
6個(gè)高度可調(diào)陰極磁控管
3個(gè)1.5kW直流靶，3個(gè)1kW射頻靶
氬氣、氧氣、氮?dú)鈿饴罚謩e配備MFC
全自動(dòng)電腦控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用，支持遠(yuǎn)程維護(hù)
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