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濕法清洗濕法清洗采用液體化學溶劑和DI水氧化、蝕刻和溶解晶片表面污染物、日本HD光電子設備諧波CSG-45-160-2UH有機物及金屬離子污染
濕法清洗
濕法清洗采用液體化學溶劑和DI水氧化、蝕刻和溶解晶片表面污染物、日本HD光電子設備諧波CSG-45-160-2UH 有機物及金屬離子污染。通常采用的濕法清洗有RCA清洗法、稀釋化學法、 IMEC清洗法、單晶片清洗等.
3.1.1 RCA清洗法
最初,人們使用的清洗方法沒有可依據的標準和系統化。1965年,日本HD光電子設備諧波CSG-45-160-2UH,并將其應用于 RCA元件制作上。該清洗法成為以后多種前后道清洗工藝流程的基礎,以日本HD光電子設備諧波CSG-45-160-2UH大多數工廠中使用的清洗工藝基本是基于最初的RCA清洗法。
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