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金屬濾芯UCD系列氣體過濾器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地張家港市

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更新時間：2023-11-14 12:31:17瀏覽次數(shù)：99次

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產(chǎn)品簡介

● 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時具備較高的耐熱性能。● 使用氮氣（N2）輸入，當過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa?！?固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認達到0.003μm，實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

詳細介紹

圓盤狀部件過濾精度0.003μm　推薦流量10～100L/min

● 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時具備較高的耐熱性能。

● 使用氮氣（N2）輸入，當過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。

● 固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認達到0.003μm，實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

規(guī)格：

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