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YH大理石隔振光學平臺

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產品簡介

YH大理石隔振光學平臺產品特點：■臺面材料采用優(yōu)質濟南青大理石

詳細介紹


YH大理石隔振光學平臺

產品特點：
■臺面材料采用優(yōu)質濟南青大理石，表面精度高，耐腐蝕性強
■內置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備隔振性能，自動調節(jié)水平功能
■該產品適用于平面度要求高的實驗
技術指標：
■平面度：00級
■固有頻率：1.0Hz～1.5Hz
■減振效率：x方向＜5Hz時：86%～92%    y方向＜5Hz時：84%～90%
                 x方向＜10Hz時：90%～96%     y方向＜10Hz時：88%～93%
■振幅：< 1.0μm
■重復定位精度：±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產

裝配地點：中山大學微電子學院


裝配地點：上海某光學科技公司

 

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