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氣體質(zhì)量流量計（流量控制器）

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產(chǎn)品簡介

一、產(chǎn)品概述氣體流量計(MassFlowMeter縮寫為MFM)和氣體流量控制器(MassFlowControler縮寫為MFC)用于對微小氣體的流量進行精密測量和控制

詳細介紹

一、產(chǎn)品概述

氣體流量計(Mass Flow Meter縮寫為M FM)和氣體流量控制器(Mass Flow Controler縮寫為MFC)用于對微小氣體的流量進行精密測量和控制。是結合微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體流量儀表。主要技術性能處于水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點:針對工業(yè)環(huán)境,融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計:且具有多種信號輸出,能通過通訊接口實現(xiàn)網(wǎng)絡管理功能:本產(chǎn)品在性能、安裝、維護方面也具有其的*性?？蓮V泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。

典型特點如下:

■采用微機電系統(tǒng)芯片加工技術和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術及材料生長技術,傳感器的尺寸縮小到了微米量級,使該流量計的靈敏度大大提高。

■在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計的量程比(范圍度)大大提高。

■傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。

■結合二次儀表的微電腦智能技術,使流量計重復性好,實現(xiàn)了計量準確可靠。

■技術進步帶來的結構簡化,使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表,壓力損失大幅度減小,極大地降低了能源消耗。

■微功耗設計 ,采用LCD顯示瞬時流量和累計流量,清晰直觀,讀數(shù)方便。

■產(chǎn)品融合了電磁兼容設計技術,具有更高抗力。.

■流量計帶有RS485通訊模塊,配合上位計算機網(wǎng)絡可實現(xiàn)集中管理。

二、典型應用

氣體流量計/流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。它在多個領域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入,以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它各種類型的分析儀器。

三、測量原理

微機電系統(tǒng)(MEMS)芯片傳感技術,是在硅芯片上集成了具有機械和電子特征的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上,而是采用了現(xiàn)代材料制作技術與大規(guī)模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。微機電系統(tǒng)芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。同時采用了多傳感器和微熱源技術，使其具備了優(yōu)良的穩(wěn)定性、響應時間短和超大量程等特點。OPEC-MFM系列氣體質(zhì)量流呈計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉換模塊、EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。見右圖(圖1)。

OPEC- MFC由流量傳感器、分流器通道、流量控制電磁調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。

OPEC-MFC利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布。

該產(chǎn)品利用流體流動傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導效應而制成,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量,可以在一定范圍不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量檢測信號進行放大。然后與設定的流量電壓信號進行比較,用所得的差值信號去驅動控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通，道的實際流量使之與設定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生穩(wěn)定的層流狀態(tài),用以調(diào)整

四、產(chǎn)品技術指標及選型