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儀器介紹
TPY-2自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動控制，自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度和靈敏度更高等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規(guī)格參數(shù)

測量范圍	薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10
測量厚度最小示值（nm）	≤1
偏振器方位角范圍	0°- 180°讀取分辨率為0.05°
偏振器步進角	0.014°/步
測量膜厚（nm）	±1
折射率重復(fù)性精度	±0.01
度盤刻度	每格1度
儀器測量精度（nm）	±0.5（薄膜厚度在10-100nm時）
入射角調(diào)節(jié)范圍	20°～90°精度為0.05°
入射光波長（nm）	632.8
光學(xué)中心高（mm）	80
允許樣品尺寸（mm）	φ10-φ140（或任意形狀），厚度≤15
外形尺寸（mm）	590390320
主機重量（kg）	28

配置表

基本配置	TPY-2	橢圓偏振測厚儀主機	1臺
	TPY-2	主機電控箱	1套
		二氧化硅膜樣片	1片
	TPY-2	橢圓偏振測厚儀專用軟件	1套
	需另配	計算機及打印機	1套